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振奋人心！上海微电子光刻机取得新突破！五朵金花都有谁？
(相关资料图)
在前不久召开新闻发布会，上海方面宣布在集成电路领域已经取得重要成绩：上海企业已经实现14纳米先进工艺规模量产，90纳米光刻机、5
纳米刻蚀机、12英寸大硅片、国产CPU、5G芯片等实现突破……其中的14nm芯片生产和90nm光刻机的技术突破在行业当中引起了极大燥动。
在晶圆加工成芯片的过程中，包括光刻气体，光刻胶以及光罩在内的一系列光刻工艺步骤，都需要光刻机来完成，而这些步骤占据了晶圆加工
流程的30%。光刻机大致分为两类：可以制备130nm到28nm/14nm/7nm芯片的DUV（深紫外线光刻机），以及可以制备7nm到5nm/4nm/3nm以下芯片的
EUV（极紫外线光刻机）。目前，我国能进口用来生产14纳米及以上成熟制程芯片的深紫光刻机(DUV），被卡脖子的是高端极紫光刻机（EUV），
而上海取得进展的90纳米光刻机属于低端的深紫光刻机。
作为先进制程芯片“命脉”的EUV光刻机如今“一机难求”。IC Knowledge数据显示，2022—2024年先进制程市场对于EUV光刻工具的需求量会
持续增多，但ASML的产能严重不足，预计2022年、2023年、2024年的设备缺口分别为18、12、20台。至少未来3年内，先进制程芯片都将受制于
EUV光刻机产能不足的影响。
作为世界唯一能生产EUV的荷兰阿斯麦（ASML），穿透股权结构显示，一大股东是美国资金研究与管理公司，拥有15.81%的股份；第二大股东
是美国黑岩集团，拥有7.95%的股份。第三大股东是英国柏基投资，拥有4.54%的股份。正因如此，美国才牢牢卡住了我们的脖子，至今我国没有
一台EUV光刻机。截止到2021年，荷兰阿斯麦（ASML）一共才生产了142台EUV光刻机，其中台积电却已经安装了超80台EUV光刻机。
此前，台积电采用DUV光刻机量产了第一代7nm芯片，同时还表示用DUV光刻机也能够量产5nm芯片。这也让人们意识到，虽然DUV光刻技术的波
长较长，但通过多次曝光实现7nm以下工艺或许也并非不可能。然而，尽管如今众多厂商的多层曝光技术已经相对成熟，但是量产的可能性却微
乎其微。因为曝光次数越多，良品率就越低，成本也就越高。这也是为何台积电在如今7nm以及5nm的先进制程芯片中，均采用EUV光刻而并非DUV
光刻。
荷兰阿斯麦（ASML）用于7纳米及以下芯片制造的EUV光刻机依然对中国禁售，只有制造14纳米及以上工艺芯片的DUV光刻机才有限制地出售给
我们，今年第一季度ASML就向国内出货了23台DUV光刻机。也正是得益于23台光刻机的交付，中芯国际才宣称14nm工艺芯片实现量产。
我国上海微电子生产的90nm的光刻机，可以用来做电源管理芯片、LCD驱动芯片、WiFI芯片、射频芯片、各类数模混合电路等。90nm工艺的芯
片完全可以满足国民生产需求。芯片有几十万种，可以说70%的都是中低端光刻机生产的。此外，90nm光刻机经过两次曝光，可以得到45nm的芯
片，三次曝光最高可以达到22nm的水平。
有资料显示，在国产90纳米光刻机基础上要想更进一步，就需要全球最顶尖的物镜以及光源，这些零部件哪怕ASML也无法生产，需要依赖德国
蔡司及美国Crymer等企业。没有这些最优秀的零部件供应商，目前还没有任何一家企业、任何一个国家可以独自生产制造7纳米工艺芯片以下的
光刻机。
令人振奋的是，在国家的大力支持下，我国在各方面均取得积极进展：
目前，在光刻机方面，除了上海微电子，还有华卓精科涉足双工件台业务，其双台系列主要应用于65nm及以下节点的ArF干式、侵没式步进扫
描光刻机等。
而在准激光源方面，科益虹源主要研发248nm准分子激光器、干式193nm准分子激光器、侵没式193nm准分子激光器；福晶科技研发KBBF晶体(用
于激光设备的上游关键零部件)；中科院研发40瓦干式准激光光源。
光学镜头系统方面，有长春国科精密研发90nmEUV镜头、高端光刻机曝光光学系统、日盲紫外探测模组、高端光学检测产品；长春光机所研发
32nmEUV镜头；国望光学研发90nm节点ArF光刻机曝光光学系统、110nm节点KrF光刻机曝光光学系统；中科科仪研发直线式劳埃透镜镀膜装置、纳
米聚焦镜镀膜装置。
侵液系统方面，有启尔机电研发光刻机侵液系统。
检测系统方面，有东方晶源微电子研发光刻机高速高精度的检测系统。
有报道称，国产90nm光刻机已商用，DUV浸润式光刻机的主要技术也都攻克了，光源、镜头、双工件台都有了。上海微电子正在攻关的28nm的
DUV光刻也有望即将交付，同时上海微电子还在进行14nm光刻机的研制与调试。而最先进的EUV光刻机(7nm以下)还没有开始整机立项研发，实现
仍需要一段时间，但相关研究已经开展。
目前，两市与上海微电子拥有股权或业务关系个股主要有：
一、上海电气（601727）：上海电气（集团）总公司（上海电气控股股东）--上海微电子装备（集团）股份有限公司（32.09%） 。
二、张江高科（600895）：张江高科--上海张江浩成创业投资有限公司（100%）--上海微电子装备（集团）股份有限公司（10.78%）。
三、东方明珠（600637）：东方明珠--上海市信息投资股份有限公司（21.33%）--上海泰力产业投资管理有限公司（95%）--上海微电子装备（
集团）股份有限公司（8.12%）。
四、启迪古汉（000590）：大股东持有华桌精科股权。华桌精科是上海微电子28nm光刻机重要供应商 。
五、金力泰（300225）：互动平台回复称国产光刻胶龙头企业杜尔考特是上海微电子装备(集团)股份有限公司的合格供应商,超微弧氧化技术可
应用于光刻机设备零部件的表面处理与其他半导体芯片集成电路的表面处理上。
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